Effettore finale in ceramica rivestito di Teflon - Superficie antiaderente per una manipolazione sensibile di wafer
L'effettore finale ceramicu rivestitu di Teflon (PTFE) di St.Cera combina un substratu d'alumina à alta resistenza cù un rivestimentu uniforme di PTFE à bassa frizione (spessore 15-30 μm). U rivestimentu furnisce un coefficientu di frizione estremamente bassu (≤0,1), una eccellente resistenza chimica è proprietà antiaderenti, impedendu l'adesione di i wafer è eliminendu a contaminazione posteriore. U substratu ceramicu sottostante (99,8% Al₂O₃) offre un'alta resistenza à a flessione (361-1000 MPa), resistenza à l'usura è stabilità termica finu à 260 °C (limite di rivestimentu). Questu effettore finale hè ideale per a manipulazione di wafer delicati, sottili o appiccicosi (per esempiu, dopu u rivestimentu di fotoresist o prucessi chimichi).
Specifiche (basatu annantu à un substratu di 99,8% Al₂O₃ cù rivestimentu PTFE):
| Pruprietà | Valore |
| Materiale di u substratu | 99,8% Alumina (Avorio) |
| Materiale di rivestimentu | PTFE (Teflon) |
| Spessore di u rivestimentu | 15–30 μm |
| Coefficiente di attritu (rivestitu) | ≤0,1 |
| Resistenza à a flessione di u substratu (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Durezza di u substratu (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Densità di u substratu | 3,93 g/cm³ |
| Temperatura massima di funziunamentu (limite di rivestimentu) | 260°C |
| Rugosità di a superficia (prima di u rivestimentu) | Ra ≤0,4 μm |
| Risistenza dielettrica (substratu) | 15×10⁶ V/m |
Nota: U rivestimentu di PTFE limita a temperatura massima à 260 °C; per applicazioni à temperature più elevate, cunsiderate ceramica senza rivestimentu o altri rivestimenti.
Applicazioni:
- · Manipulazione di wafer dopu u rivestimentu di fotoresist (superfici appiccicose)
- · Trasferimentu di cialde fini o fragili (impedisce l'attaccamentu)
- · Strumenti d'ispezione è di metrologia di semiconduttori
- · Automatizazione di e sale bianche induve a contaminazione di e particelle deve esse minimizzata
Prucessu di fabricazione:
Sustratu ceramicu sinterizatu è rettificatu di precisione → irruvidimentu di a superficia (incisione à plasma o sabbiatura) → rivestimentu à spruzzu di PTFE → polimerizazione à calore à 380 ° C → ispezione finale. Ogni effettore finale hè verificatu per u spessore di u rivestimentu (corrente parassita), l'adesione (prova di taglio trasversale ASTM D3359) è u coefficientu di attritu.
Cuntrollu di qualità:
Ispezione visuale à 100% per fori di spillo o bolle; uniformità di u spessore di u rivestimentu in ±5 μm; nisuna delaminazione dopu a prova di piegatura à 90° nantu à u cupone testimone. Verifica dimensionale secondu a tolleranza OEM (lunghezza ±0,05 mm, planarità ≤0,1 mm).
Vantaghji annantu à i rivestimenti senza rivestimentu o altri:
- · A superficia antiaderente impedisce l'adesione è a rottura di e cialde
- · U coefficientu di attritu u più bassu trà i rivestimenti ceramici
- · Eccellente resistenza chimica (acidi, basi, solventi)
- · Riduce a generazione di particelle impedendu u trasferimentu di materiale
Limitazioni (osservazioni nantu à a deviazione materiale):
U rivestimentu di PTFE ùn hè micca derivatu da e tabelle di proprietà di i materiali furnite (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). E proprietà di u sustratu seguitanu strettamente a scheda tecnica furnita (99,8% Al₂O₃). E proprietà di u rivestimentu sò basate nantu à e specificazioni di PTFE standard di l'industria, postu chì ùn sò stati furniti dati di rivestimentu. Per l'applicazioni chì superanu i 260 °C, hè cunsigliatu un effettore finale ceramicu senza rivestimentu.*
Personalizazione:
Disponibile in lunghezze 150–1500 mm, forme di punta (presa di bordo, Bernoulli, piatta), modelli di flange di montaggio secondu u disegnu OEM. Rivestimentu parziale (solu zone di cuntattu) o copertura completa opzionale.
Richiedete un campione per test di aderenza è attritu.
