Anellu d'isolamentu PVD d'alumina per sistemi di deposizione fisica di vapore

L'anellu d'isolamentu PVD di St.Cera hè fabbricatu da 99,8% d'alumina d'alta purezza (Al₂O₃) per l'usu in sistemi di deposizione fisica da vapore (PVD). L'anellu furnisce un isolamentu elettricu trà i cumpunenti di a camera, impedendu l'archi è assicurendu un funziunamentu stabile di u plasma. E proprietà chjave includenu un'alta resistenza dielettrica (15×10⁶ V/m), una resistenza specifica >10¹⁴ Ω·mm²/m è una stabilità termica finu à 1600°C. E nostre capacità di machinazione di precisione ottenenu diametri esterni finu à 600 mm, diametri interni finu à 0,2 mm, planarità di 0,003 mm è finitura superficiale Ra0.1. A porosità zero è l'inerzia chimica di l'anellu garantiscenu un'affidabilità à longu andà in ambienti di sputtering aggressivi.

Specifiche (basate annantu à 99,8% Al)₂O₃& capacità di fabricazione di St.Cera):

Applicazioni:

• · Isolanti di piastra di supportu di bersagliu in sistemi PVD
• · Isolatori di alimentazione di a camera
• · Isolanti à anellu di schermatura in sistemi di sputtering
• · Isolamentu d'alta tensione in camere di plasma

Precisione di fabricazione:

Concentricità: 0,01 mm, rotondità: 0,002 mm, rettangolarezza: 0,005 mm, perpendicolarità: 0,005 mm, verificata da CMM.

AVantaghji annantu à l'isolanti polimerichi:

• · Resiste à 1600 °C contr'à u limite di <300 °C di i polimeri
• · Nisun degassamentu - mantene l'integrità di u vacuum
• · Resiste à l'erosione di u plasma è à l'attaccu chimicu

Personalizazione:

Sezioni trasversali persunalizate, caratteristiche di montaggio, profili di gradini è parechji disinni di anelli concentrici dispunibili.