Effettore finale in ceramica di carburo di siliciu (SiC) - Alta rigidità per a manipolazione di wafer ad alta temperatura
L'effettore finale in ceramica SiC di St.Cera hè fabbricatu da carburo di siliciu di alta purezza (cuntenutu di SiC 99,72%, Si liberu 0,05%) utilizendu u materiale batch S1111. Offre proprietà meccaniche eccezziunali: resistenza à a flessione 449 MPa (misurata), modulu elasticu 457 GPa (misuratu) è durezza Vickers 25-28 GPa (tipicu). A bassa densità (3,10-3,15 g/cm³, tipica) furnisce una rigidità specifica elevata, ideale per i robot di trasferimentu di wafer à alta velocità. Cù una conducibilità termica di 120-150 W/m·K (tipica) è un coefficiente di dilatazione termica di 4,0-4,5×10⁻⁶/℃ (tipicu), questu effettore finale dissipa efficacemente u calore è mantene a stabilità dimensionale durante a manipolazione à alta temperatura (finu à 1600-1700°C, senza carica). U culore neru/grisgiu è l'assorbimentu zero d'acqua garantiscenu a compatibilità in camera bianca.
Specifiche(basatu annantu à u rapportu di prova SiC S1111 furnitu è i valori tipici)):
| Pruprietà | Valore |
| Materiale | SiC (99,72% SiC, 0,05% Si liberu) |
| Culore | Neru/Grisgiu |
| Densità | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Assorbimentu d'acqua | 0% |
| Resistenza à a flessione | 449 MPa (media) |
| Tenacità à a frattura | 3,12 MPa·m¹/² (media) |
| Modulu Elastico | 457 GPa |
| Durezza Vickers | 25–28 GPa |
| Cunduttività termica (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura massima d'usu (senza carica) | 1600–1700°C |
Applicazioni:
● Manipolazione di wafer à alta temperatura (post-ricottura, RTP, epitaxia)
● Camere di incisione à plasma chì necessitanu una alta resistenza à l'erosione
● Robot di trasferimentu à alta velocità (ligeri, alta rigidità)
Fabbricazione:
Sinterizzazione di polvere di SiC → rettifica CNC di precisione di u prufilu di u bracciu è di e caratteristiche di muntatura → lappatura superficiale → pulizia à ultrasoni. Ispezione dimensionale à 100% è prova di perdita d'eliu per applicazioni di vuoto.
Cuntrollu di qualità:
● Ispezione CMM di lunghezza, larghezza è planarità
● Prova di resistenza à a flessione per batch (per standard di rapportu di prova)
● Ispezione visuale sottu microscopiu per difetti di superficia
Vantaghji annantu à l'alumina o u metallu:
● Modulu elasticu 2× più altu (457 vs ~380 GPa per l'alumina) - menu deflessione
● 3× più alta conducibilità termica - dissipazione di u calore più rapida
● Resiste à >1600°C vs l'alumina à 800°C in aria
● Densità più bassa chè l'acciaiu - riduzione di pesu di 40%
Personalizazione:
Lunghezze 150–450 mm, forme di punta (presa di spigolo, Bernoulli, piatta), modelli di flange di montaggio secondo il disegno OEM.
*Tutti i dati meccanichi sopra citati provenenu da u rapportu di prova furnitu (lottu S1111). I valori termichi è di durezza sò tipici per questu gradu di SiC; cuntattateci per a certificazione specifica di u lottu.*
