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Bracciu di caricamentu in ceramica d'alumina 99,5% persunalizatu ST.CERA

Bracciu di caricamentu in ceramica d'alumina 99,5% persunalizatu ST.CERA

Descrizzione corta:

L'effettore finale / bracciu di manipulazione in ceramica hè installatu nantu à u robot di manipulazione di wafer o "effettori finali" è hè utilizatu per purtà wafer di silicone in o fora di cassette o camere di prucessu.
I vantaghji di l'usu di a ceramica sò a riduzione di a deflessione per via di l'alta resistenza à a flessione, a resistenza à e alte temperature è l'eliminazione di a contaminazione metallica è di e particelle.


Dettagli di u produttu

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Dettagli di u produttu

Cù caratteristiche di resistenza à alta temperatura, resistenza à a corrosione, resistenza à l'abrasione è isolamentu, a ceramica pò travaglià in parechji tipi d'equipaggiamenti di pruduzzione di semiconduttori in cundizioni di alta temperatura, vacuum o gas corrosivu per un bellu pezzu.

Fattu da polvere d'alumina d'alta purezza, trasfurmatu per pressatura isostatica à fretu, sinterizazione à alta temperatura è finitura di precisione, l'Effettore Finale ceramicu puderia ghjunghje à a tolleranza dimensionale di ± 0,001 mm, finitura superficiale Ra 0,1, resistenza à a temperatura 1600 ℃.

L'Effettore Finale in ceramica cù cavità pò travaglià à una temperatura elevata di 800 ℃ grazia à a tecnulugia unica di legame ceramicu.

Eccu e caratteristiche di a ceramica d'alumina cù diverse purità.

parametri di u pruduttu

logu

ST.CERA CO., LTD.

Scheda di dati di u materiale

Pruprietà Unità Alumina (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Culore Biancu Avoriu Avoriu Avoriu
Densità g/cm3 3,88 3,90 3.93 3,95
Assorbimentu d'acqua % 0 0 0 0
Dimensione di u granu μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Resistenza à a flessione MPa 350 360 361 350
Tenacità à a frattura MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Durezza Vickers GPa 14 15.5 16 16
Modulu elasticu di Young GPa 370 370 380 390
Cunduttività termica W/m·k 28 32 32 34
Coefficiente di dilatazione termica 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Custante dielettrica 9.5 9.6 9.6 9.9
Angulu di perdita dielettrica 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Forza dielettrica V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Resistenza Specifica Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Prucessu di pruduzzione

Granulazione à spruzzu → polvere ceramica → Furmazione → Sinterizzazione di spazi vuoti → Rettifica grossolana → Lavorazione CNC → Rettifica fine → Ispezione dimensionale → Imballaggio di pulizia

Dettagli essenziali

Locu d'origine: Hunan, Cina
Materiale: Ceramica d'alumina
Codice HS: 85471000
Capacità di furnimentu: 100 pezzi per mese
Tempu di consegna: 3-4 settimane
Imballaggio: Scatola ondulata, schiuma, cartone
Altri: Serviziu di persunalizazione dispunibule


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