Effettore finale in ceramica d'alumina cù canali di vuoto integrati
L'effettore finale di u vacuum in allumina di St.Cera integra canali di vacuum lavorati cù precisione è fori di aspirazione direttamente in u corpu di allumina di alta purezza à 99,8%. Stu cuncepimentu elimina i cuscinetti di vacuum esterni, permettendu una presa diretta di u wafer cù una forza di tenuta uniforme. L'alta resistenza à a flessione (361 MPa) è a durezza (16 GPa) di u materiale garantiscenu a stabilità dimensionale à longu andà sottu à cicli di vacuum ripetuti. A planarità in tutta l'area di u cuscinettu hè mantenuta in 10 μm, impediscendu u stress è a rottura di u wafer. I porti di vacuum sò situati nantu à a flangia di montaggio posteriore per una facile integrazione cù i bracci robotici OEM.
Specifiche(basatu annantu à 99,8% Al₂O₃):
| Pruprietà | Valore |
| Materiale | 99,8% Alumina (Avorio) |
| Densità | 3,93 g/cm³ |
| Resistenza à a flessione | 361 MPa |
| Durezza Vickers | 16 GPa |
| Modulu di Young | 380 GPa |
| Espansione termica | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Planarità di u cuscinettu | ≤10 μm |
| Larghezza di u Canale di u Vuotu | 0,5–2,0 mm |
| Temperatura massima di funziunamentu | 800°C |
Applicazioni:
● Aspirazione à vuoto di cialde sottili o deformate
● Manipolazione diretta di e cialde senza presa di bordi
● Trasferimentu di cellule solari è substrati LED
Fabbricazione:
Grezzu d'alumina sinterizzata → perforazione CNC à 5 assi di canali è fori di vuoto → lappatura superficiale → pulizia à ultrasoni → prova di perdita à l'eliu. Ogni effettore hè testatu à u 100% per u flussu per l'uniformità di u vuoto.
Vantaghji:
● Nisuna ventosa esterna (riduce e fonti di particelle)
● A pressione di tenuta uniforme impedisce a marcatura di e cialde
● Chimicamente inerte è cumpatibile cù e camere bianche
