Parti in ceramica d'alumina sicure ESD per a manipolazione di wafer sensibili à l'elettricità statica

I pezzi di ceramica d'alumina sicuri ESD (scariche elettrostatiche) di St.Cera sò fabbricati da Al₂O₃ di alta purezza à 99,8% cù una resistività superficiale persunalizzata di 10⁶–10⁹ Ω/sq, ottenuta per mezu di un prucessu di doping o rivestimentu pruprietariu. Quessi pezzi dissipanu efficacemente a carica statica, impedendu danni elettrostatici à i wafer è i dispositivi semiconduttori sensibili. U materiale di basa mantene a so alta resistenza à a flessione (361 MPa), durezza (16 GPa) è resistenza dielettrica (15×10⁶ V/m). I pezzi di ceramica sicuri ESD includenu effettori terminali, perni di sollevamentu, guide è dispositivi persunalizati per l'automazione FAB.

Specifiche(basatu annantu à 99,8% Al₂O₃ cù trattamentu ESD):

Nota: A resistività superficiale ESD ùn hè micca furnita in e tabelle di proprietà di i materiali furnite. L'intervallu sopra hè u standard industriale per a ceramica dissipativa. Per piacè cuntattateci per i rapporti di prova.

Applicazioni:

● Effettori finali sicuri ESD per u trasferimentu di wafer

● Pin di messa à terra è dispositivi ESD in l'equipaggiu FAB

● Prese di prova per dispositivi sensibili à l'elettricità statica

● Attrezzatura per a sala bianca induve u cuntrollu staticu hè criticu

Fabbricazione è qualità:

Trasfurmazione standard di l'alumina + trattamentu superficiale ESD → resistività superficiale misurata secondu ANSI/ESD STM11.11. Ogni parte hè testata à 100% cù un elettrodu à anellu concentricu.

Vantaghji:

● Impedisce a perdita di rendimentu ligata à l'ESD

● Mantene a resistenza meccanica è a resistenza chimica di a ceramica

● Nisuna generazione di particelle da scarica statica