Anellu di tenuta in ceramica d'alumina d'alta purezza per a sigillatura di camere à alta temperatura

L'anellu di tenuta ceramica di St.Cera hè cuncipitu cum'è una alternativa à l'O-ring polimerichi in ambienti estremi induve l'elastomeri si degradanu. Fabbricatu da 99,8% d'alumina d'alta purezza (Al₂O₃), questu anellu di tenuta rigidu hè utilizatu in applicazioni di tenuta statica - tipicamente accoppiatu cù una guarnizione in metallo dolce o grafite - per furnisce un vacuum affidabile o un contenimentu di gas à temperature finu à 800 °C è in ambienti aggressivi di plasma o chimichi. U materiale offre zero degassamentu, alta resistenza à a compressione (resistenza à a flessione sottostante 361 MPa) è inerzia chimica (resistente à alogeni, acidi è alcali eccettu HF). E superfici di tenuta sovrapposte di precisione (planarità ≤5 μm, rugosità superficiale Ra ≤0,2 μm) assicuranu un cuntattu ermeticu cù i cumpunenti metallichi o ceramici accoppiati.

Specifiche(basatu annantu à 99,8% Al)₂O₃):

Applicazioni:

• · Guarnizioni statiche di a camera di prucessu di semiconduttori (CVD, PVD, incisione)
• · Guarnizioni di porta di fornu à alta temperatura
• · Flange di alimentazione à vuoto
• · Chiusure di i vasi di reattori chimichi

Prucessu di fabricazione:

Pressatura isostatica → sinterizzazione à 1600°C → lappatura di precisione à doppia faccia per ottene facce di tenuta ultra-piatte è lisce → smussatura di i bordi → pulizia à ultrasoni. Ogni anellu hè testatu à 100% per perdite nantu à un rilevatore di perdite à l'eliu cù una guarnizione metallica standard.

Cuntrollu di qualità:

• · Verifica dimensionale CMM (ID, OD, spessore, parallelisimu)
• · Profilometru di superficia per Ra è ondulazione
• · Misurazione di planarità cù l'usu di a planarità ottica
• · Prova di perdita di l'eliu (metodu di retropressurizazione)

Vantaghji annantu à l'anelli O-ring in polimeru:

• · Resiste à 800 °C versus <300 °C per FFKM
• · Zero degassamentu - nisuna contaminazione di l'ambiente di u vacuum
• · Resistente à tutte e chimiche di u plasma (fluoru, cloru, ossigenu)
• · Nisuna compressione o deformazione permanente
• · Durata di vita illimitata in ambienti puliti

Limitazioni (Osservazioni critiche):

• · Micca un O-ring— hè un anellu ceramicu rigidu chì richiede una guarnizione morbida (rame, aluminiu o grafite) per sigillà.
• · Ùn si adatta micca à u muvimentu dinamicu o à u disallineamentu di e grande flange.
• · Costu iniziale più altu chè l'O-ring in polimeru, ma una durata di vita più longa riduce u costu di pruprietà.
• · Fragile - maneghjà cun cura; evità l'impatti puntuali o e tensioni di flessione.

Nota:I dati sopra seguitanu strettamente a tabella di proprietà Al₂O₃ furnita. Nisun datu per i materiali elastomerichi hè statu furnitu. Stu pruduttu hè un anellu di tenuta staticu, micca un O-ring elastomericu. Per piacè cunfirmate s'ellu risponde à i requisiti di a vostra applicazione.