Mandrinu à vuoto in allumina per tagli di precisione è macinazione
U mandrinu à vuoto d'allumina di St.Cera hè fabbricatu cù 99,8% di Al₂O₃ d'alta purezza cù scanalature à vuoto lavorate cù precisione. A nostra capacità di macinazione di precisione raggiunge una planarità di 0,003 mm è un parallelismu di 0,002 mm, assicurendu una fissazione di wafer senza deformazione durante u tagliu à cubetti, a macinazione posteriore è l'ispezione. U materiale offre un'alta resistenza à a flessione (361 MPa), durezza (16 GPa) è stabilità termica finu à 800 °C. Disponibile in formati tondi finu à 600 mm di diametru esternu (OD) è forme rettangulari finu à 1500 mm di lunghezza. E scanalature à vuoto sò cuncepite su misura (mudelli concentrici, radiali o a griglia) per adattassi à i requisiti specifici di u prucessu. Ogni mandrinu hè ispezionatu cù un interferometru laser è furnitu cù un rapportu di verificazione di a planarità.
Specifiche (basate annantu à 99,8% Al)₂O₃& capacità di fabricazione di St.Cera):
| Pruprietà | Valore |
| Materiale | 99,8% Alumina (Avorio) |
| Densità | 3,93 g/cm³ |
| Resistenza à a flessione | 361 MPa |
| Durezza Vickers | 16 GPa |
| Diametru esternu (max) | 600 mm |
| Spessore (max) | 100 mm |
| Lunghezza (massima) | 1500 mm |
| Piattezza | 0,003 mm |
| Parallelisimu | 0,002 mm |
| Finitura di a superficia | Ra0.1 |
| Temperatura massima di funziunamentu | 800°C |
Applicazioni:
- · Tagliu è incisione di wafer (200 mm / 300 mm è più grandi)
- · Macinazione posteriore di cialde sottili
- · Ispezione ottica è sondaggio
- · Manipulazione di substrati di grande dimensione
Precisione di fabricazione:
- · Linearità: 0,005 mm
- · Perpendicularità: 0,005 mm
- · Rotondità: 0,002 mm
- · Concentricità: 0,01 mm
