Effettore finale in ceramica d'alumina d'alta purezza per robot di manipolazione di wafer
L'effettore finale in ceramica d'alumina di St.Cera hè machinatu cù precisione da Al₂O₃ d'alta purezza à 99,8% utilizendu apparecchiature avanzate di rettifica CNC à 5 assi. E nostre capacità di fabricazione includenu macchine di rettifica di precisione è centri di lavorazione CNC, chì permettenu geometrie cumplesse cù alta precisione. L'effettore finale presenta un prufilu sottile (finu à 1,5 mm) cù un bordu d'attaccu cunicu per una inserzione liscia di u wafer. U materiale furnisce una rigidità elevata (modulu di Young 380 GPa), un'eccellente resistenza à l'usura è una stabilità termica finu à 800 °C. Ogni unità hè rettificata cù precisione per ottene una planarità di 0,003 mm, un parallelismu di 0,002 mm è una finitura superficiale di Ra0,1, assicurendu un cuntattu consistente cù u wafer è un funziunamentu senza particelle in ambienti FAB di semiconduttori. Disponibile in lunghezze da 150 mm à 450 mm, cù geometrie di punta persunalizate (presa di bordu, Bernoulli, piatta) è flange di montaggio per adattassi à i robot OEM. L'opzioni di finitura superficiale includenu lappatu, lucidatu, o rivestimentu dissipativu ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Specifiche (basate annantu à 99,8% Al)₂O₃& capacità di fabricazione di St.Cera):
| Pruprietà | Valore |
| Materiale | 99,8% Alumina (Avorio) |
| Densità | 3,93 g/cm³ |
| Resistenza à a flessione | 361 MPa |
| Durezza Vickers | 16 GPa |
| Modulu di Young | 380 GPa |
| Piattezza | 0,003 mm |
| Parallelisimu | 0,002 mm |
| Finitura di a superficia | Ra0.1 (lappatu/lucidatu) |
| Temperatura massima di funziunamentu | 800°C |
| Gamma di lunghezza | 150–450 mm |
Applicazioni:
- · Trasferimentu di wafer in robot di u vacuum è atmosferichi
- · Effettori finali di l'automazione FAB per wafer di 200 mm/300 mm
- · Manipolazione di wafer sottili (cù opzione ESD)
Capacità di fabricazione:
E nostre macchine di rettifica di precisione è i centri di lavorazione CNC permettenu a pruduzzione di cumpunenti ceramici cumplessi cù:
- · Lunghezza massima di lavorazione: 1500 mm
- · Diametru esternu massimu: 600 mm
- · Diametru internu minimu: 0,2 mm
- · Spessore massimu: 100 mm
Cuntrollu di qualità:
Rettilineità 0,005 mm, perpendicularità 0,005 mm, rotondità 0,002 mm, parallelisimu 0,002 mm, concentricità 0,01 mm verificata da CMM. Ogni unità hè pulita à ultrasoni è imballata in camera bianca di Classe 100.
