Bracciu roboticu in ceramica d'alumina d'alta purezza per a manipolazione di wafer
U bracciu roboticu in ceramica d'alumina di St.Cera hè custruitu cù precisione da 99,8% di Al₂O₃ (alumina) d'alta purezza. Combina una resistenza à a flessione eccezziunale (361 MPa), una durezza elevata (16 GPa) è una bassa densità (3,93 g/cm³), risultendu in un bracciu ligeru ma rigidu per u trasferimentu di wafer di semiconduttori. U coefficientu di dilatazione termica di u materiale (7,2×10⁻⁶/°C) currisponde strettamente à u siliciu, minimizendu a discrepanza termica durante a trasfurmazione.
Specifiche (basatu annantu à 99,8% Al₂O₃):
| Pruprietà | Valore |
| Culore | Avoriu |
| Densità | 3,93 g/cm³ |
| Resistenza à a flessione | 361 MPa |
| Durezza Vickers | 16 GPa |
| Modulu di Young | 380 GPa |
| Cunduttività termica | 32 W/m·k |
| Espansione termica | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Forza dielettrica | 15×10⁶ V/m |
Applicazioni:
- Robot di trasferimentu di wafer à vuoto (200 mm / 300 mm)
- Sistemi di gestione atmosferica
- Bracci effetori finali per l'automatizazione FAB
Prucessu di fabricazione:
Pressatura isostatica → lavorazione verde → sinterizzazione à 1600°C → rettifica di precisione CNC → pulizia à ultrasoni → imballaggio per camera bianca di classe 100. Ogni bracciu hè ispezionatu à u 100% da CMM per planarità (±0,01 mm) è rugosità superficiale (Ra ≤0,4 μm).
Cuntrollu di qualità:
St.Cera hè certificata ISO 9001:2015. Facemu testi di penetrazione di coloranti per microfessure, flessione à trè punti per a resistenza à a flessione è testi di resistenza dielettrica secondu ASTM D149.
Vantaghji annantu à l'arme metalliche:
- 50% più ligeru chè l'acciaiu inox
- Nisuna corrosione galvanica
- Generazione di particelle più bassa (≤0,05 particelle/cm²)
- Rivestimentu ESD dispunibule (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Personalizazione:
Lunghezze da 150 mm à 450 mm, forme di punta (presa di spigolo, Bernoulli, vacuum) è mudelli di flange di montaggio secondu i disegni OEM. Prototipi in 2 settimane.
Per ordini in quantità, dumandate un preventivu.
