-
Parti in ceramica di l'anellu ceramicu d'alta precisione in allumina
Furmate da pressatura isostatica à fretu è sinterizate à alta temperatura, poi lavorate cù precisione è lucidate, e parti di ricambio in ceramica ponu risponde à qualsiasi esigenza stretta di l'apparecchiature à semiconduttori cù e so caratteristiche di resistenza à l'usura, resistenza à a corrosione, bassa espansione termica è isolamentu. A ceramica pò funziunà in parechji tipi di apparecchiature di pruduzzione di semiconduttori in cundizioni di alta temperatura, vacuum o gas corrosivu per un bellu pezzu.
Fattu da polvere d'alumina d'alta purezza, trasfurmatu per pressatura isostatica à fretu, sinterizazione à alta temperatura è finitura di precisione, puderia ghjunghje à a tolleranza dimensionale di ± 0,001 mm, finitura superficiale Ra 0,1, resistenza à a temperatura 1600 ℃.
-
Mandrini ceramici per apparecchiature a semiconduttore personalizzate ST.CERA
Furmate da pressatura isostatica à fretu è sinterizate à alta temperatura, poi lavorate cù precisione è lucidate, e parti di ricambio in ceramica ponu risponde à qualsiasi esigenza stretta di l'apparecchiature à semiconduttori cù e so caratteristiche di resistenza à l'usura, resistenza à a corrosione, bassa espansione termica è isolamentu. A ceramica pò funziunà in parechji tipi di apparecchiature di pruduzzione di semiconduttori in cundizioni di alta temperatura, vacuum o gas corrosivu per un bellu pezzu.
Fattu da polvere d'alumina d'alta purezza, trasfurmatu per pressatura isostatica à fretu, sinterizazione à alta temperatura è finitura di precisione, puderia ghjunghje à a tolleranza dimensionale di ± 0,001 mm, finitura superficiale Ra 0,1, resistenza à a temperatura 1600 ℃.
-
Effettore finale in ceramica di carburo di siliciu (SiC) - Alta rigidità per a manipolazione di wafer ad alta temperatura
L'effettore finale in ceramica SiC di St.Cera hè fabbricatu da carburo di siliciu di alta purezza (cuntenutu di SiC 99,72%, Si liberu 0,05%) utilizendu u materiale batch S1111. Offre proprietà meccaniche eccezziunali: resistenza à a flessione 449 MPa (misurata), modulu elasticu 457 GPa (misuratu) è durezza Vickers 25-28 GPa (tipicu). A bassa densità (3,10-3,15 g/cm³, tipica) furnisce una alta rigidità specifica, ideale per i robot di trasferimentu di wafer à alta velocità. Cù una conducibilità termica di 120-150 W/m·K (tipica) è un coefficiente di dilatazione termica di 4,0-4,5×10⁻⁶/℃ (tipicu), questu effettore finale dissipa efficacemente u calore è mantene a stabilità dimensionale durante a manipolazione à alta temperatura (finu à 1600-1700°C, senza carica). U culore neru/grisgiu è l'assorbimentu zero d'acqua garantiscenu a compatibilità in camera bianca.
-
Mandrinu à vuoto à basa di carburo di siliciu (SiC) per ambienti à alta temperatura è plasma
U mandrinu ceramicu à basa di SiC di St.Cera hè fabbricatu da carburo di siliciu di alta purezza (lottu S1111, SiC 99,72%, Si liberu 0,05%). Offre una resistenza à a flessione misurata di 449 MPa, una tenacità à a frattura di 3,12 MPa·m¹/² è un modulu elasticu di 457 GPa. A tipica conducibilità termica di u materiale (120-150 W/m·K) è a bassa espansione termica (4,0-4,5×10⁻⁶/℃) permettenu una rapida crescita di a temperatura è una deformazione minima di u wafer durante u ciclu termicu. U mandrinu pò esse cunfiguratu cum'è un mandrinu à vuoto porosu (flussu di gas uniforme) o un mandrinu standard scanalatu. Cù una temperatura massima d'usu di 1600-1700°C (senza carica) è una resistenza eccezziunale à l'erosione di u plasma, questu mandrinu hè ideale per a trasfurmazione di wafer à alta temperatura (ricottura, RTP) è camere di incisione aggressive induve i mandrini d'allumina si degradanu.
-
Pezzi di ricambio ceramici per apparecchiature a semiconduttore Portatori ceramici
Furmate da pressatura isostatica à fretu è sinterizate à alta temperatura, poi lavorate cù precisione è lucidate, e parti di ricambio in ceramica ponu risponde à qualsiasi esigenza stretta di l'apparecchiature à semiconduttori cù e so caratteristiche di resistenza à l'usura, resistenza à a corrosione, bassa espansione termica è isolamentu. A ceramica pò funziunà in parechji tipi di apparecchiature di pruduzzione di semiconduttori in cundizioni di alta temperatura, vacuum o gas corrosivu per un bellu pezzu.
Fattu da polvere d'alumina d'alta purezza, trasfurmatu per pressatura isostatica à fretu, sinterizazione à alta temperatura è finitura di precisione, puderia ghjunghje à a tolleranza dimensionale di ± 0,001 mm, finitura superficiale Ra 0,1, resistenza à a temperatura 1600 ℃.
-
Anellu di macinazione in ceramica d'alumina cù supportu metallicu per applicazioni di lappatura ad alta rigidità
L'anellu di macinazione in allumina à basa di metallu di St.Cera combina un stratu di usura ceramica d'alumina di alta purezza (99,8% Al₂O₃) cù un supportu metallicu lavorato di precisione (tipicamente aluminiu o acciaio inox). Stu disignu ibridu furnisce l'eccezziunale resistenza à l'usura è l'inerzia chimica di a ceramica nantu à a superficia di macinazione, mentre chì a basa metallica aghjusta resistenza meccanica, montaggio faciule è resistenza à a frattura fragile. U stratu d'alumina offre una resistenza à a flessione di 361 MPa, una durezza Vickers di 16 GPa è una stabilità termica finu à 800 °C. A basa metallica hè persunalizata cù fori di montaggio, perni di posizionamentu o proprietà magnetiche per l'integrazione in macchine di lappatura, rettificatrici planetarie è apparecchiature CMP.
-
Pezzi di ricambio in ceramica per apparecchiature di stazione di sonda a semiconduttore
Furmate da pressatura isostatica à fretu è sinterizate à alta temperatura, poi lavorate cù precisione è lucidate, e parti di ricambio in ceramica ponu risponde à qualsiasi esigenza stretta di l'apparecchiature à semiconduttori cù e so caratteristiche di resistenza à l'usura, resistenza à a corrosione, bassa espansione termica è isolamentu. A ceramica pò funziunà in parechji tipi di apparecchiature di pruduzzione di semiconduttori in cundizioni di alta temperatura, vacuum o gas corrosivu per un bellu pezzu.
Fattu da polvere d'alumina d'alta purezza, trasfurmatu per pressatura isostatica à fretu, sinterizazione à alta temperatura è finitura di precisione, puderia ghjunghje à a tolleranza dimensionale di ± 0,001 mm, finitura superficiale Ra 0,1, resistenza à a temperatura 1600 ℃.
-
Trasfurmazione persunalizata di u mandrinu di cialda ceramica Al2O3
Furmate da pressatura isostatica à fretu è sinterizate à alta temperatura, poi lavorate cù precisione è lucidate, e parti di ricambio in ceramica ponu risponde à qualsiasi esigenza stretta di l'apparecchiature à semiconduttori cù e so caratteristiche di resistenza à l'usura, resistenza à a corrosione, bassa espansione termica è isolamentu. A ceramica pò funziunà in parechji tipi di apparecchiature di pruduzzione di semiconduttori in cundizioni di alta temperatura, vacuum o gas corrosivu per un bellu pezzu.
Fattu da polvere d'alumina d'alta purezza, trasfurmatu per pressatura isostatica à fretu, sinterizazione à alta temperatura è finitura di precisione, puderia ghjunghje à a tolleranza dimensionale di ± 0,001 mm, finitura superficiale Ra 0,1, resistenza à a temperatura 1600 ℃.
-
ST.CERA Piastra ceramica per apparecchiature semiconduttori persunalizate
Furmate da pressatura isostatica à fretu è sinterizate à alta temperatura, poi lavorate cù precisione è lucidate, e parti di ricambio in ceramica ponu risponde à qualsiasi esigenza stretta di l'apparecchiature à semiconduttori cù e so caratteristiche di resistenza à l'usura, resistenza à a corrosione, bassa espansione termica è isolamentu. A ceramica pò funziunà in parechji tipi di apparecchiature di pruduzzione di semiconduttori in cundizioni di alta temperatura, vacuum o gas corrosivu per un bellu pezzu.
Fattu da polvere d'alumina d'alta purezza, trasfurmatu per pressatura isostatica à fretu, sinterizazione à alta temperatura è finitura di precisione, puderia ghjunghje à a tolleranza dimensionale di ± 0,001 mm, finitura superficiale Ra 0,1, resistenza à a temperatura 1600 ℃.
-
Mandrinu à vuoto in allumina di 12 pollici per a trasfurmazione di wafer di 300 mm
U mandrinu à vuoto di 12 pollici di St.Cera hè custruitu cù precisione da 99,8% d'alumina d'alta purezza (Al₂O₃) per a manipolazione di wafer di 300 mm. U mandrinu presenta una superficia à scanalature fini (larghezza di a scanalatura 0,5-1,0 mm, passu 2-3 mm) per assicurà una distribuzione uniforme di u vuoto in tuttu u diametru di 300 mm. A planarità hè mantenuta in 5 μm, chì permette una fissazione di u wafer senza deformazioni durante u tagliu, a macinazione posteriore è l'ispezione. L'alta resistenza à a flessione (361 MPa) è a durezza (16 GPa) di u materiale garantiscenu a stabilità dimensionale à longu andà ancu sottu à cicli di vuoto ripetuti.
-
Effettore finale in ceramica d'alumina cù canali di vuoto integrati
L'effettore finale di u vacuum in allumina di St.Cera integra canali di vacuum lavorati cù precisione è fori di aspirazione direttamente in u corpu di allumina di alta purezza à 99,8%. Stu cuncepimentu elimina i cuscinetti di vacuum esterni, permettendu una presa diretta di u wafer cù una forza di tenuta uniforme. L'alta resistenza à a flessione (361 MPa) è a durezza (16 GPa) di u materiale garantiscenu a stabilità dimensionale à longu andà sottu à cicli di vacuum ripetuti. A planarità in tutta l'area di u cuscinettu hè mantenuta in 10 μm, impediscendu u stress è a rottura di u wafer. I porti di vacuum sò situati nantu à a flangia di montaggio posteriore per una facile integrazione cù i bracci robotici OEM.
-
Parti in ceramica d'alumina sicure ESD per a manipolazione di wafer sensibili à l'elettricità statica
I pezzi di ceramica d'alumina sicuri ESD (scariche elettrostatiche) di St.Cera sò fabbricati da Al₂O₃ di alta purezza à 99,8% cù una resistività superficiale persunalizzata di 10⁶–10⁹ Ω/sq, ottenuta per mezu di un prucessu di doping o rivestimentu pruprietariu. Quessi pezzi dissipanu efficacemente a carica statica, impedendu danni elettrostatici à i wafer è i dispositivi semiconduttori sensibili. U materiale di basa mantene a so alta resistenza à a flessione (361 MPa), durezza (16 GPa) è resistenza dielettrica (15×10⁶ V/m). I pezzi di ceramica sicuri ESD includenu effettori terminali, perni di sollevamentu, guide è dispositivi persunalizati per l'automazione FAB.
